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近年來,由於能源的危機,大家紛紛投入太陽能電池的研究與發展。目前化合物薄膜太陽能電池以銅銦鎵硒為主,但由於成本高昂,故無法普及化,因此需要新的材料來控制成本,因而發展出硫化銅錫鋅與硒化銅錫鋅兩種化合…
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本研究是採用射頻磁控濺鍍法於康寧玻璃型號1737 基板沉積微晶矽鍺薄膜,使用的靶材為鍺錠貼附於矽靶上並控制鍺元素原子比20 % 來共鍍沉積,在沉積過程中加熱基板至150oC,並控制不同的氫氣與氬氣的…